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浙江大学学报(理学版)  2011, Vol. 38 Issue (1): 41-45    
电子科学     
基于支持向量机及遗传算法的光刻热点检测
 全文: PDF(584 KB)   HTML (
出版日期: 2012-01-01
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引用本文:

曹葵康, 沈海斌, 杨祎巍. 基于支持向量机及遗传算法的光刻热点检测[J]. 浙江大学学报(理学版), 2011, 38(1): 41-45.

CAO Kui-Kang, SHEN Hai-Bin, YANG Yi-Wei. . Journal of ZheJIang University(Science Edition), 2011, 38(1): 41-45.

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https://www.zjujournals.com/sci/CN/        https://www.zjujournals.com/sci/CN/Y2011/V38/I1/41

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